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隨著(zhù)電子信息產(chǎn)品市場(chǎng)的快速發(fā)展,高性能芯片、新型顯示等電子器件市場(chǎng)廣闊。蒸發(fā)材料和濺射靶材等鍍膜材料是電子器件制造的關(guān)鍵支撐,其中鋁薄膜以其電阻率較低、易沉積、易刻蝕、工藝成熟等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應用。早期超高純鋁及鋁合金鍍膜材料主要由國外企業(yè)控制市場(chǎng),有研億金打破鍍膜材料依賴(lài)進(jìn)口的狀況,實(shí)現鍍膜材料關(guān)鍵技術(shù)的開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的供應,不僅推動(dòng)行業(yè)良性發(fā)展,同時(shí)增強國際市場(chǎng)競爭力。是傳統有色金屬工業(yè)轉型升級、開(kāi)發(fā)高附加值深加工產(chǎn)品的重要示范。中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì )、中國有色金屬學(xué)會(huì )公布的2015 年度中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎公示名單中 電子信息用超高純鋁及其合金鍍膜材料的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目獲中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)一等獎,為促進(jìn)我國實(shí)現超高純鋁及其合金鍍膜材料國產(chǎn)化和本地化供應提供有力的技術(shù)支撐。

超高純鋁鍍膜材料的研制包括超高純鋁及其合金蒸發(fā)材料和濺射靶材成套技術(shù)開(kāi)發(fā)及應用。要求產(chǎn)品性能指標滿(mǎn)足電子信息應用領(lǐng)域嚴格的鍍膜要求,通過(guò)客戶(hù)的應用認證實(shí)現批量生產(chǎn),質(zhì)量穩定、性能可靠并達到國際同類(lèi)產(chǎn)品標準。從小尺寸的鋁蒸發(fā)材料研發(fā)起步,到4~6”小尺寸半導體用濺射靶材、8~12”大尺寸半導體用濺射靶材,再到高代線(xiàn)大尺寸平板顯示用濺射靶材的研制,歷經(jīng)10年時(shí)間,實(shí)現了超高純鋁鍍膜材料全面技術(shù)突破,開(kāi)發(fā)出超高純新型鋁合金制備技術(shù)5大關(guān)鍵技術(shù),在產(chǎn)品性能達標的同時(shí)解決了大尺寸靶材工程化實(shí)施難題。通過(guò)項目的實(shí)施,已授權專(zhuān)利19(發(fā)明7),發(fā)表文章21篇,制定鋁靶材和蒸發(fā)料相關(guān)國家/行業(yè)標準4項,獲得北京市自主創(chuàng )新產(chǎn)品認定1項、北京市新技術(shù)新產(chǎn)品認定1項,北京市高新技術(shù)成果轉化1項,中國半導體協(xié)會(huì )創(chuàng )新產(chǎn)品和技術(shù)獎1項。項目驗收及專(zhuān)家評價(jià)階段,國家863計劃重點(diǎn)項目和北京市科委科技計劃重大項目均通過(guò)考核指標,并給與了高度的評價(jià),一致通過(guò)驗收。科學(xué)技術(shù)成果評價(jià)該項目技術(shù)經(jīng)濟指標先進(jìn),經(jīng)濟、社會(huì )效益顯著(zhù),項目總體達到國內領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平。

多年來(lái),有研億金新材料有限公司致力于超高純鍍膜材料的國產(chǎn)化和本地化供應,積極努力打造國產(chǎn)鍍膜材料品牌,在我國電子信息制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過(guò)程中貢獻力量。


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